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科技创新成果——炼化新材料领域科技进展

上海新材料研究院——超高纯湿电子化学品制备技术

  受集成电路和显示面板市场需求驱动,我国湿电子化学品市场高速增长。当前,高端湿电子化学品市场主要依赖进口,国内极少企业掌握SEMI G4级以上高纯产品的生产技术,试剂中金属离子去除和微粒数控制是高纯湿电子化学品行业关键门槛。

   中石油(上海)新材料研究院建立了高纯湿电子化学品痕量离子及痕量颗粒等检测方法,完成了痕量杂质脱除工艺研究,200ml/h小试和20L/h中试验证试验结果一致性很好,产品指标达到国际半导体行业协会G4以上级别标准。

   2000吨/年电子级甲醇和2000吨/年电子级异丙醇工艺包通过验收,中试装置将在蓝海中试基地一期项目建设,标志集团公司在电子化学品自主研发道路上取得突破,解决我国半导体领域有机类湿电子化学品工艺技术只能全套引进、无技术自主权的卡脖子难题。

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